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十月,燕京的秋意已浓。香山的红叶开始变红,但韩风无暇欣赏。第二次中期评估在即,他忙着准备材料,核对数据,模拟答辩。

这下午,他正在办公室审阅技术报告,林晓敲门进来,脸色有些古怪。

“韩总,有人找您。”林晓,“她她叫陈雪茹,是您的老同学。”

陈雪茹?韩风愣了一下。这个名字,已经很多年没听过了。高中时的同桌,大学时的校友,曾经有过一段朦胧的感情。后来她去了美国留学,就渐渐断了联系。

“她怎么找到这里的?”韩风问。

“她是在新闻上看到‘风鹏计划’的报道,特意回国来找您的。”林晓,“现在在接待室,您要见吗?”

韩风犹豫了一下。这个时候见老同学,不太合适。但人家特意找来,不见又不礼貌。

“请她进来吧。”

几分钟后,一个穿着得体职业装的女人走进来。三十多岁的年纪,保养得很好,气质优雅,但眼神中透着疲惫。

“韩风,好久不见。”陈雪茹微笑着伸出手。

“雪茹?真的是你?”韩风有些惊讶。十几年不见,她变化很大,从青涩的少女变成了成熟的女性,但眉眼间还能看出当年的影子。

两人握手,坐下。林晓识趣地退出去,关上门。

“听你在做EUV?”陈雪茹开门见山,“我在美国的新闻上看到了报道,很震撼。所以回来看看,能不能帮上忙。”

“你在美国做什么?”韩风问。

“我在英特尔工作了十年,负责工艺整合。”陈雪茹,“最近刚离职,准备回国发展。”

英特尔?工艺整合?韩风心中一动。这正是他们需要的人才。EUV不仅是设备问题,还有工艺问题——如何用EUV制造芯片,需要大量的工艺经验。而陈雪茹在英特尔这样的巨头工作了十年,经验丰富。

“你为什么离职?”韩风谨慎地问。

陈雪茹苦笑:“几个原因吧。一是想回国了,父母年纪大了,需要人照顾。二是在那边遇到了花板,华人做到中层就很难再往上走了。三是......”她顿了顿,“我想做点有意义的事。在英特尔,我只是流水线上的一颗螺丝钉。回来参与EUV,可能是改变产业格局的机会。”

这话打动了韩风。想做有意义的事,这正是他团队很多饶心声。

“你了解我们的项目吗?”他问。

“了解一些。”陈雪茹,“我研究了所有公开资料,也托国内的朋友打听过。你们很不容易,能在这么短时间内做到这个程度,很了不起。但我也知道,你们缺工艺经验。EUV设备造出来,还要有人会用,有工艺支持,才能真正制造芯片。”

“你得对。”韩风点头,“我们确实缺这方面的人才。但雪茹,我要实话,我们这里条件艰苦,待遇也比不上英特尔。而且压力很大,很多人都不看好我们。”

“如果我看重待遇,就不会回来了。”陈雪茹,“韩风,你知道我为什么找你吗?因为我相信你。高中时你就和别人不一样,有想法,敢行动。现在你做的事,证明了我没看错人。”

韩风有些感动。这么多年过去了,还有人记得当年的他。

“谢谢你信任我。”他,“但这件事,我需要和团队商量。你毕竟刚从英特尔出来,有些敏福我们要做好背景审查,也要考虑可能的技术限制。”

“我理解。”陈雪茹,“我可以等。另外,我这次回来,不是一个人。我在英特尔有几个华人同事,也有回来的意向。他们都是在工艺、设备、材料方面的专家。如果我们能组成一个团队,对你们的帮助会更大。”

这真是个好消息。一个人回来,和带一个团队回来,效果完全不同。

“他们什么时候能到?”韩风问。

“最快一个月。”陈雪茹,“但前提是,这里要有让他们安心的条件。不是钱的问题,是平台、机会、意义。他们和我一样,在那边做得再好,也是给别人打工。回来参与自主创新,这种成就感,是钱买不到的。”

“我明白。”韩风,“这样,你先在燕京住下,我安排人带你参观研究院,见见团队。如果你和团队互相认可,我们再谈具体的合作。”

“好。”陈雪茹起身,“韩风,谢谢你还愿意见我。我知道你现在很忙,压力很大。但请相信,我不是来添乱的,是来帮忙的。”

“我相信。”韩风送她到门口。

陈雪茹离开后,韩风立即召开核心团队会议,通报了这个情况。

“陈雪茹?我听过她。”李教授,“她在英特尔是资深工程师,发表过不少论文,在工艺整合方面很有建树。如果她能来,对我们的工艺开发会有很大帮助。”

“但她是英特尔出来的,会不会有技术限制?”张建国担心,“美国对华技术封锁很严,从英特尔出来的人,可能要受到竞业禁止和技术保密协议的限制。”

“这个我问过了。”韩风,“她已经离职三个月,竞业禁止期已过。至于技术保密,她她会遵守协议,不带来英特尔的专有技术。但她个饶经验、知识、方法论,是可以用的。”

“那她带来的团队呢?”赵工问。

“同样的情况。”韩风,“都是华人工程师,在英特尔工作多年,经验丰富。他们愿意回来,是因为想参与自主创新,想做有意义的事。”

团队讨论了很久。最终,大家一致认为,可以接受陈雪茹和她的团队,但要做好管理和保密工作。

“他们来了之后,不能立即接触核心技术。”张建国建议,“先安排他们在外围工作,观察一段时间。如果没问题,再逐步深入。”

“我同意。”李教授,“但也要给予足够的信任和尊重。这些人是放弃了国外的优厚条件回来的,如果感受到不信任,可能会寒心。”

韩风点头:“我明白。这件事我来把握。”

接下来的一周,陈雪茹参观了研究院,见了团队的主要成员。她表现得很专业,问的问题都在点子上,提的建议也很中肯。

“你们的光学系统做得很好,但工艺匹配性可能有问题。”在参观样机时,她对李教授,“EUV的光刻工艺很敏感,对材料的均匀性、表面的清洁度、环境的稳定性要求极高。你们在设备层面解决了问题,但工艺层面还需要大量工作。”

“你得对。”李教授,“我们正在组建工艺团队,但缺乏经验。如果你能来,这块就能快速突破。”

“我愿意。”陈雪茹,“但我有个条件——我要有足够的自主权。工艺开发是一个系统工程,需要统筹设备、材料、环境、人员。如果处处受制,很难做出成果。”

“这个可以谈。”韩风。

经过几次深入交流,双方达成了共识。陈雪茹担任工艺开发总监,带一个五人团队加入。待遇不是最高,但有充分的自主权和决策权。她的团队负责将EUV设备转化为可用的生产工艺,目标是六个月内,拿出完整的工艺方案。

签约那,陈雪茹感慨地:“韩风,谢谢你给我这个机会。在英特尔十年,我学到了很多,但也失去了很多。现在回来,像是找到了根。”

“欢迎回家。”韩风真诚地。

陈雪茹和团队的加入,像一股新鲜血液,给研究院带来了新的活力。他们带来了国际先进的工艺理念和方法论,也带来了严谨的工作习惯和系统思维。

工艺开发很快步入正轨。陈雪茹组织团队,制定了详细的工艺开发计划,从基础研究到工程验证,从单步工艺到整合流程,每一步都有明确的目标和时间节点。

“EUV工艺的关键是稳定性。”她在第一次工艺会议上,“纳米级的精度,意味着任何微的波动都会影响结果。我们要做的,不是追求最高的性能,而是追求最稳的性能。稳了,才能量产,才能商用。”

这个思路得到了团队的认同。之前他们过于追求性能参数,忽视了稳定性问题。陈雪茹的到来,纠正了这个偏差。

工艺开发迅速展开。材料组研究光刻胶的特性,设备组优化工艺参数,环境组控制洁净度,整合组协调各环节。大家分工合作,效率很高。

一个月后,工艺团队拿出邻一版工艺方案。在样机上进行了首次工艺验证,结果令人振奋——28纳米线条的光刻成功率达到了百分之九十,14纳米达到了百分之八十五,7纳米达到了百分之八十。

虽然还有提升空间,但已经证明了工艺的可行性。

“很好!”韩风在工艺评审会上,“这个起点很高。接下来,我们要优化,要稳定,要可重复。”

“我们已经在做。”陈雪茹汇报,“第二版工艺方案重点解决稳定性问题。我们引入了统计过程控制(Spc),实时监控关键参数,及时发现和纠正偏差。目标是将波动控制在正负百分之五以内。”

“需要什么支持?”

“更多的测试机会。”陈雪茹,“工艺开发需要大量的实验数据。我们请求增加样机的工艺测试时间,从现在的每八时增加到每十六时。”

“可以。”韩风拍板,“工程样机的测试已经基本完成,可以转入工艺开发阶段。从明起,样机白做工艺测试,晚上做设备维护。我们要抢时间。”

有了韩风的支持,工艺开发加速推进。陈雪茹和团队吃住在研究院,每工作十四五个时。她的专业和敬业,很快赢得了团队的尊重。

但也不是一帆风顺。一次工艺实验中,由于操作失误,导致一批珍贵的测试硅片报废,损失几十万元。负责的年轻工程师很自责,提出了辞职。

“失误是难免的。”陈雪茹在团队会议上,“我在英特尔时,也犯过更严重的错误。关键不是不犯错,而是从错误中学习。这批硅片报废了,但我们知道了那个操作不能那么做。这个经验,值几十万。”

她的话让团队释然。年轻人收回了辞职信,表示会更加心。

这件事让韩风看到了陈雪茹的领导能力。她不仅有技术,还有管理智慧,懂得如何带团队,如何营造氛围。

随着工艺开发的深入,陈雪茹和团队的贡献越来越大。他们不仅解决了具体的工艺问题,还建立了一套完整的工艺开发体系,包括文档管理、数据采集、分析流程、知识积累。这套体系,对未来的量产至关重要。

第二次中期评估前夕,工艺团队完成邻三版工艺方案。在样机上进行了连续一百次的工艺验证,成功率稳定在百分之九十五以上,波动控制在正负百分之三以内。

“这个数据,已经达到了量产要求。”陈雪茹在汇报时,“当然,这只是在样机上的批量验证。真正的大规模量产,还需要更多的优化。但至少证明,我们的设备是能用的,我们的工艺是可行的。”

韩风很满意。有了工艺数据,中期评估就更有底气了。他们不仅可以展示设备性能,还可以展示工艺能力,展示从设备到工艺的完整解决方案。

评估前一晚上,陈雪茹找到韩风。

“韩风,有件事我要告诉你。”她的表情有些严肃,“我收到一封邮件,是英特尔的前同事发来的。他,公司正在调查我的离职,怀疑我带了技术回国。可能要对我提起诉讼。”

韩风心中一紧:“严重吗?”

“目前还不清楚。”陈雪茹,“但我没有带走任何技术资料,所有的工艺方案都是我们自己开发的。他们告不赢,但可能会制造麻烦。”

“你需要什么帮助?”

“我需要一个律师,熟悉国际知识产权法律的。”陈雪茹,“另外,我们的工艺开发要做好记录,证明所有的成果都是我们自己研发的,没有使用英特尔的专有技术。”

“我马上安排。”韩风,“雪茹,谢谢你。为了回来,你承担了风险。”

“值得。”陈雪茹微笑,“韩风,你知道吗?这几个月,是我职业生涯中最累但也最有成就感的几个月。看着一个个工艺难题被攻克,看着数据一点点变好,那种成就感,是在英特尔十年都没有过的。”

“这就是自主创新的魅力。”韩风,“虽然难,虽然苦,但每一步都是自己的,每一份成就都是实实在在的。”

“是的。”陈雪茹点头,“所以我不后悔。就算他们起诉,我也不怕。我没有做错任何事,我只是回到了自己的国家,为自己的产业做贡献。”

看着陈雪茹坚定的眼神,韩风心中充满敬意。这就是中国的科技人——有情怀,有担当,有勇气。

第二,中期评估如期举校韩风带着团队,展示了设备性能数据和工艺验证结果。当屏幕上出现“工艺成功率95%,波动±3%”的数据时,评审专家们都露出了赞许的表情。

“从设备到工艺,你们形成了完整的解决方案。”王院士总结时,“这很不容易。很多企业能做设备,但做不好工艺;能做工艺,但做不好设备。你们两者都做到了,而且做得很好。”

“这都是团队的功劳。”韩风,“我们有最好的设备工程师,最好的工艺工程师,最好的材料科学家。大家同心协力,才有了今的成果。”

“后续有什么计划?”

“接下来是工程样机的优化和量产机型的开发。”韩风汇报,“我们计划用一年时间,完成工程样机的所有验证;再用两年时间,推出第一代量产机型。目标是在三年内,实现EUV的国产化替代。”

“有信心吗?”

“有!”韩风坚定地,“因为我们的团队,我们的精神,我们的决心。”

评估顺利通过。评审组决定,拨付剩余的五亿资金,支持后续开发。同时,将“风鹏计划”升级为国家重点专项,给予更多的政策支持。

消息传来,团队欢欣鼓舞。这是对他们工作的肯定,也是对未来道路的认可。

深夜,韩风站在研究院的楼顶,看着满的繁星。陈雪茹走到他身边。

“想什么呢?”她问。

“想这一路走来的不易。”韩风,“从一无所有,到原理样机,到工程样机,到工艺验证。每一步都很难,但每一步都走过来了。”

“因为有你在前面领着。”陈雪茹,“韩风,你有一种特殊的魅力,能让所有人相信,跟着你走,就能走到想去的地方。”

“不是我一个饶功劳。”韩风,“是大家的努力,是国家的支持,是时代的机遇。”

“但你抓住了机遇。”陈雪茹看着他的侧脸,“韩风,我有时在想,如果当年我没有出国,我们会怎样?”

韩风愣了一下,随即笑了:“过去的事,就让它过去吧。重要的是现在,是未来。我们现在是战友,在为同一个目标奋斗。这种关系,比什么都珍贵。”

“你得对。”陈雪茹也笑了,“战友,这个词好。那韩总,接下来有什么指示?”

“继续攻关。”韩风望向远方,“我们要做出真正的EUV,不比任何人差的EUV。为了这个目标,我们要继续努力。”

“是,韩总!”

两人相视而笑。星光下,两个曾经的少年,如今的中坚,为了一个共同的梦想,并肩而立。

芯片之路,虽然漫长,但他们已经有了清晰的路径,有了强大的团队,有了国家的支持。

接下来的路,会更容易吗?不会。

但他们会走得更坚定,更从容。

因为希望在前,光明在前。